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【晶圓廠離奇事件簿】牛打嗝、5滴水造成良率下降 被亡靈詛咒…連薩滿法師都來了 2025-09-21 07:40 / 作者 戴嘉芬 https://i.imgur.com/ckL8pEU.jpeg 台積電位於亞利桑那鳳凰城的2座晶圓廠矗立在荒漠中,在當地是非常醒目的建築物。取 自TSMC 護國神山台積電在全球積極布局,目前晶圓廠累計已達24座,美國亞利桑那第1期晶圓廠 去年底量產,第2期、第3期工廠正如火如荼興建。不只是台積電,包括英特爾、恩智浦等 都在亞利桑那設廠;多年來,國內外晶圓廠卻也流傳造成設備故障、產線停擺的各種離奇 事件,原因從動物打嗝、原住民亡靈等等不一而足,有些直到現在還無法從技術、科學角 度解釋,讓工程師們茶餘飯後大嘆「難道科學的盡頭是玄學?」 由荷蘭資深科技記者馬克.海因克(Marc Hijink)撰寫的《造光者;Focus: The ASML Wa y》一書描述半導體設備巨擘ASML崛起故事。馬克在〈護理大軍〉第17章節中寫道,亞利 桑那州的荒漠平原矗立著一座座半導體晶圓廠,英特爾、摩托羅拉、恩智浦都在此設廠, 而台積電兩座嶄新晶圓廠也聳立在地平線上。 「鳳凰城每年有近300天豔陽高照,但晶圓廠內的無塵室卻始終不見天日,與外界完全隔 絕,不容許任何人事物影響生產」。廠內設備承載著滿盤的晶圓,沿著軌道來回穿梭,往 返於不同機台之間。「然而,一旦設備發生故障,整條生產線就會停擺,那些機器就在堵 在交通事故現場的車輛,卡在車陣中動彈不得」。 造價昂貴 曝光機堪稱晶圓廠心臟 尤其是曝光機,它堪稱晶圓廠的心臟,也是最昂貴的設備,負責關鍵的生產製程,最快的 設備每小時可產生300片晶圓,而晶圓上的每顆晶片價值達25萬美元。因此,曝光機必須 時時刻刻維持全速運轉。 馬克在書中提到,曝光機只要定期保養,通常能維持98%至99%運作。但是,「人為疏失始 終無法完全避免,包括線路鬆脫、螺絲未鎖緊、工具掉落,或是鏡頭上出現指紋或刮痕等 」,這些都還算可挽救的範圍。 無塵室裡最糟的狀況,是漏水或光罩受損。光罩是晶片結構的獨特藍圖,更換一片要花數 十萬美元。一旦光罩出問題,廠內高層會立即聚集到機台邊。 https://i.imgur.com/MHt4AGN.jpeg 晶圓廠無塵室的員工必須穿著無塵衣在裡面工作。取自TSMC 台積電廠:5滴水落在機台膠層 自動產出瑕疵晶片 威姆.帕斯是台積電鳳凰城廠區的現場主任,他對馬克敘述自己曾遇過最棘手的案例。「 廠區內有一台浸潤式機台經常出現莫名其妙的故障;每次重新開機後的兩小時都會生產出 有瑕疵的晶片,然後又恢復正常,彷彿什麼事也沒發生過。」 後來他們花了幾個月才查出原因。原來,每次機器停止運轉,都有5滴水珠落在膠層上, 導致膠層膨脹數奈米;這小小的變化足以讓晶片圖案出現偏移。等到水分蒸發後,膠層又 恢復原狀,讓人找不到機器出錯的蛛絲馬跡。 https://i.imgur.com/f8b6RP5.jpeg 台積電亞利桑那廠曾發生5滴水事件,機台會自動生產有瑕疵的晶片。圖為正常的晶圓及 晶片。取自TSMC 無法預期的狀況不僅來自機台本身。「無塵室雖然盡可能與外界隔絕,有時仍無法完全阻 擋外在干擾」;包括地震和雷雨造成的氣壓變化,都可能干擾微影製程。甚至有時候,問 題居然出現在幾頭牛身上。 英特爾廠:牛放屁、打嗝造成晶圓良率降低 英特爾就遇過一個離奇狀況,有一陣子,晶圓廠每天良率都莫名其妙下降數小時。「研究 人員想破頭才發現,元凶竟然是牛放屁與打嗝。」 每天凌晨1點到兩點之間,風向會改變。附近乳牛場排放的甲烷氣體會穿過空氣過濾系統 ,溜進無塵室。這些「鄰居」睡夢中所排放的氣體居然足以影響生產,導致良率下降。由 於英特爾無法找到有效過濾氣體的方式,只好花錢請3座牧場搬遷。此後,所有為晶圓廠 選址的人都知道,要特別注意廠區附近有沒有牧場。 https://i.imgur.com/6ImyJ1c.jpeg 英特爾晶圓廠附近有牧場,牛睡夢中排放的氣體導致晶圓生產的良率下降。圖為英特爾無 塵室員工。Intel提供 某晶圓廠疑似被亡靈詛咒 只好請薩滿來作法 晶圓廠裡還發生過更離奇的事。馬克繼續寫道,大約20年前,亞利桑那某座晶圓廠的曝光 機頻頻出問題。廠內工程師說:「從技術角度完全無法解釋,不只是ASML設備出狀況,所 有系統都有問題。」後來有人指出,晶圓廠位置所在地,很久以前曾是原住民的墓地。廠 長認為「晶圓廠一定是被詛咒了。」 於是,他們請來一位薩滿巫師。薩滿一到場就發現問題所在,工廠入口處的水泥方尖碑看 起來很像墓碑。他指的那個方尖碑說,「想安撫亡靈,最好先把那些東西拿掉。」接著, 薩滿穿上無塵衣去檢查生產線。檢查完後,他對廠長說,「亡靈喜歡紅色。」語畢默默離 開。 現場剛好有一個ASML鏡頭包裝箱是亮紅色的,廠長把紙箱折成一個小帳篷的形狀,放在曝 光機上。 不可思議地,所有問題都奇蹟般消失了。那個紅色小帳篷在機台上放的好多年,沒人敢動 它。後來,這家晶圓廠訂購新機台時,還特別向ASML提出要求,能不能在第二台機器上, 也放一個紅色小帳篷。「Of course no problem!」 嘉義封裝廠興建以來風波不斷! 事實上,晶圓廠靈異事件不只發生在國外,台灣也時有所聞,尤其台積電嘉義封裝1廠去 年5月整地時曾因挖出繩紋陶遺址而停工;後來,台大考古團隊進駐進行搶救挖掘,挖出 出土物件包括繩紋陶及其破片,另有少量石刀、箭鏃、貝殼、獸骨等,還發現數具兒童及 成年個體墓葬,出土文物已暫存於嘉義縣文化局。12月之後,嘉義封裝1廠獲准繼續興建 。 嘉義廠復工後,工地意外頻傳!自今年5月以來,已發生6起工安事件,釀2死2重傷。先是 5/20有工人從鷹架墜落導致癱瘓。接著在5月26日,進行設備移入作業時,吊車吊掛指揮 手遭重達2噸的變壓器壓中,不幸身亡。7/16則有女工遭300公斤重的冰水管砸傷,導致不 治。7月20日,有一輛重約50噸板車翻覆,幸無人員傷亡。 據了解,廠區曾於7月17日恭請地藏王、土地公到工地坐鎮,祈求工程平安。而板車翻覆 後隔天,亦曾安排乩童到工地作法,幫祖靈爭取興建「萬善同歸」小廟,祭祀無主亡靈, 並插下黑令旗,要求廠方信守承諾。 民俗專家廖大乙曾指出,人安、靈安與神安才有工安,台積電嘉義廠恭請關公鎮廠,但關 公的神格是要消滅妖魔鬼怪,難免與祖靈產生衝突,廠區自然不得安寧。他建議以和為貴 ,誠意對待祖靈的感受,蓋廟祭祀亡靈以保佑施工平安。 針對這座「萬善同歸」小廟是否已規劃興建,或已興建完成?至截稿前,台積電尚未回應 。 https://i.imgur.com/wkxSlcx.jpeg 新竹縣長楊文科曾公開爆料,為了興建台積電寶山廠,整個大崎村幾乎都遷移了,包括神 明跟公墓也跟著搬遷。資料照 不只是嘉義廠,台積電2奈米生產和研發重鎮皆位於新竹寶山,新竹縣長楊文科曾公開透 露,為了台積電蓋廠,寶山鄉大崎村村民幾乎都遷移了,就連神明跟公墓也跟著遷移。所 幸,在搬遷前,已先跟保生大帝擲杯請求,獲得允准。對於公墓遷移,則承諾興建新的納 骨塔,也獲得同意。 楊文科還說,台積電員工用最有效率、最認真、最負責、最果斷的方式去解決問題。「跟 其他公司都不一樣,我非常敬佩。」 https://www.taisounds.com/news/content/76/214872 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 49.216.174.44 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1758415075.A.331.html
aziliu: 乖乖才是機密... 223.23.199.129 09/21 09:36
n00bmaster: 一定是沒綠乖乖,只有魔法能打敗魔法 36.228.74.144 09/21 10:04
ariadne: 聽過跟牛放屁類似的是中國某晶圓廠也是220.133.244.143 09/21 10:16
ariadne: 每天有段時間良率下降 後來查出來是保安220.133.244.143 09/21 10:16
ariadne: 從逃生梯溜進去睡覺 當然沒穿無塵衣220.133.244.143 09/21 10:16
ben6421463: 乖乖是這個世界靈異法則的頂點 111.83.8.54 09/21 10:36
alotofjeff: 國外真落後,到現在都還沒研發出乖乖 1.161.129.16 09/21 10:46
alotofjeff: 這種鎮邪之物? 1.161.129.16 09/21 10:46
gn0481914: 美國人不懂乖乖的奧義 42.70.54.210 09/21 10:47
garnett0620: 廠內高層站到機台邊?記者多讀點書吧 36.230.160.158 09/21 11:17
garnett0620: … 36.230.160.158 09/21 11:17
stradadelsol: 美國鬼故事( 118.166.20.28 09/21 11:17
gino0717: 要用護法咒啊123.194.161.186 09/21 11:23
tn00210585: 碰過颱風影響高真空gauge 也是搞很久220.132.136.213 09/21 11:35
abcstandup: 而晶圓上的每顆晶片價值達25萬美元=>123.240.238.164 09/21 12:02
abcstandup: 單位是不是寫錯了啊123.240.238.164 09/21 12:02
BGN038: 高層到機台旁邊 記者認真? 101.10.83.20 09/21 12:13
BGN038: 而且光照受損到機台旁邊幹嘛 101.10.83.20 09/21 12:14
amethystboy: 民智未開…. 1.164.69.182 09/21 12:16
tmtm39: 無塵室沒有負壓讓氣體跑進去...? 36.228.69.228 09/21 12:32
mainsa: 應該是過濾能力不足以完全過濾甲烷吧 而 49.216.86.14 09/21 12:46
mainsa: 且無塵室是正壓系統 49.216.86.14 09/21 12:46
keyofdejavu: 帶包綠色乖乖進去啊 36.228.236.166 09/21 13:17
ijk1: 設備在換爐管的boat時,在loading area偷放 42.72.197.242 09/21 13:19
ijk1: 屁會不會有影響? 42.72.197.242 09/21 13:19
QQ101: 騙軌 要錢就說...............123.204.136.123 09/21 13:21
wangyc: 所以甲烷可以用來攻擊晶圓廠123.193.170.185 09/21 13:35
Iversonshao: 團購乖乖 49.216.44.128 09/21 13:38
b18902040: 喔,人安靈安神安才有公安,所以公安工 101.12.154.229 09/21 13:39
b18902040: 程師需要通靈乙級跟乩童甲級? 101.12.154.229 09/21 13:39
applejone: 所以要搞對手,就是養一堆牛就好了 140.112.14.21 09/21 13:44
yashiro: 叫乖乖去美國設廠算了 42.73.9.21 09/21 14:01
R3hab: 台積在台灣工傷一堆 工安爛到靠北但是沒人 61.216.65.209 09/21 14:08
R3hab: 敢停台積的工 美國ohsa沒在跟你543 61.216.65.209 09/21 14:08
ankrro: 可以去黃光機台旁放屁看看 36.228.99.128 09/21 14:17
twinmick: 只請薩滿,可是德魯伊比較好用啊. 118.161.17.206 09/21 15:17
luche: 反觀嘉義園區 到現在高層等沒有親 59.102.131.121 09/21 16:13
luche: 自下來好好的祭拜=.= 59.102.131.121 09/21 16:13
yingjeou: 這記者可以校稿一下嗎 寫的真爛 49.216.165.96 09/21 16:53
lonelysin: 乖乖表示 49.217.122.151 09/21 17:00
platinum500a: 乖乖有用 別頭鐵 27.51.34.9 09/21 17:00
lonelysin: 熊本廠也是牛屎味超重的。 49.217.122.151 09/21 17:14
lonelysin: 下雨天牛屎還會流到整個馬路上 49.217.122.151 09/21 17:14
lonelysin: 滾滾屎流 49.217.122.151 09/21 17:15
lonelysin: 菊陽大津空氣中屎味常常很濃 49.217.122.151 09/21 17:16
Evanshen: 美國廠就請驅魔人穿無塵服進去驅魔啊 89.117.42.28 09/21 17:16
MrStone: 就沒有拜乖乖 111.243.79.166 09/21 17:19
ppit: 台灣的晶圓廠蓋在地震帶上 150.116.46.247 09/21 17:28
c928: 沒有放乖乖 39.15.17.97 09/21 17:53
allen501pc: 要先搞好5S等無塵室用的潔淨規定吧? 111.246.72.227 09/21 17:57
theway708: 無塵室裡面有紙箱!?這個潔淨度不會 42.73.79.196 09/21 18:25
theway708: 有問題嗎...? 42.73.79.196 09/21 18:25
CCWck: 其實是有人知道root cause 但怕被咎責,推 42.79.131.205 09/21 18:37
CCWck: 給玄學大家都有台階下 42.79.131.205 09/21 18:37
kenzoro: 混一些沒根據的事件在亂講…… 36.235.240.118 09/21 19:50
SLOWFAX: 買個一個貨櫃的乖乖,送去鎮壓就沒問題了 42.79.183.89 09/21 20:36
SLOWFAX: ,不要被當地勞工吃掉就好了 42.79.183.89 09/21 20:36
john11894324: 如果美國農場是大規模有可能 42.73.118.79 09/21 20:44
KWBilly: 乖乖也該去美國設廠了XDD223.137.248.147 09/21 20:44
dnkofe: 放乖乖簡單多了218.164.193.145 09/21 21:19
cobrasgo: 椰子乖乖是後天仙器,凡人們哪懂 223.137.106.12 09/21 21:52

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